1. ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମେଟାଲୋଗ୍ରାଫିକ୍ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ଏବଂ ପରମାଣୁ ଶକ୍ତି ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ର ଏକୀକୃତ ଡିଜାଇନ୍, ଶକ୍ତିଶାଳୀ କାର୍ଯ୍ୟ |
2. ଏଥିରେ ଉଭୟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ଏବଂ ପରମାଣୁ ଶକ୍ତି ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ଇମେଜିଙ୍ଗ୍ ଫଙ୍କସନ୍ ଅଛି, ଉଭୟ ପରସ୍ପରକୁ ପ୍ରଭାବିତ ନକରି ଏକ ସମୟରେ କାମ କରିପାରିବେ |
3. ସାଧାରଣ ବାୟୁ ପରିବେଶ, ତରଳ ପରିବେଶ, ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରିବେଶ ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରିବେଶରେ ଏକ ସମୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ |
4. ନମୁନା ସ୍କାନିଂ ଟେବୁଲ୍ ଏବଂ ଲେଜର ଚିହ୍ନଟ ହେଡ୍ ଏକ ବନ୍ଦ ପ୍ରକାରରେ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି, ଏବଂ ଏକ ସିଲ୍ କଭର ଯୋଗ ନକରି ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଭରାଯାଇ ଭିତରକୁ ଡିସଚାର୍ଜ କରାଯାଇପାରିବ |
5. ଲେଜର ଚିହ୍ନଟ ଏକ ଭୂଲମ୍ବ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ଡିଜାଇନ୍ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍-ଲିକ୍ୱିଡ୍ ଡୁଆଲ୍-ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ପ୍ରୋବ ଧାରକ ସହିତ ତରଳ ତଳେ କାମ କରିପାରିବ |
6. ଏକକ-ଅକ୍ଷ ଡ୍ରାଇଭ୍ ନମୁନା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ଅନୁସନ୍ଧାନକୁ ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ପହଞ୍ଚେ, ଯାହାଫଳରେ ଛୁଞ୍ଚିର ଟିପ୍ ନମୁନାକୁ p ର୍ଦ୍ଧ୍ୱରେ ସ୍କାନ୍ କରାଯାଏ |
7. ମୋଟର-ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରେସରାଇଜଡ୍ ପାଇଜୋଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସିରାମିକ୍ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଚିହ୍ନଟର ବୁଦ୍ଧିମାନ ଛୁଞ୍ଚି ଖାଇବା ପଦ୍ଧତି ଅନୁସନ୍ଧାନ ଏବଂ ନମୁନାକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେଇଥାଏ |
8. ଅନୁସନ୍ଧାନ ଏବଂ ନମୁନା ସ୍କାନିଂ କ୍ଷେତ୍ରର ସଠିକ୍ ପୋଜିସନ୍ ହାସଲ କରିବାକୁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ମ୍ୟାଗ୍ନିଫିକେସନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପୋଜିସନ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ |
9. ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସ୍କାନର୍ ନନ୍-ଲାଇନ୍ ସଂଶୋଧନ ବ୍ୟବହାରକାରୀ ସଂପାଦକ, ନାନୋମିଟର ବର୍ଣ୍ଣକରଣ ଏବଂ ମାପର ସଠିକତା 98% ଅପେକ୍ଷା ଭଲ |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ:
| ଅପରେଟିଂ ମୋଡ୍ | ଟଚ୍ ମୋଡ୍, ଟ୍ୟାପ୍ ମୋଡ୍ | |
| ବ tion କଳ୍ପିକ ମୋଡ୍ | ଘର୍ଷଣ / ଲାଟେରାଲ୍ ଫୋର୍ସ, ବିସ୍ତାର / ଚରଣ, ଚୁମ୍ବକୀୟ / ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଫୋର୍ସ | |
| ଫୋର୍ସ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରମ୍ ବକ୍ର | FZ ଫୋର୍ସ ବକ୍ର, RMS-Z ବକ୍ର | |
| XY ସ୍କାନ୍ ପରିସର | | 50 * 50um, ଇଚ୍ଛାଧୀନ 20 * 20um, 100 * 100um | |
| Z ସ୍କାନ୍ ପରିସର | | 5um, ଇଚ୍ଛାଧୀନ 2um, 10um |
| ରେଜୋଲୁସନ ସ୍କାନ୍ କରନ୍ତୁ | | ଭୂସମାନ୍ତର 0.2nm, ଭୂଲମ୍ବ 0.05nm | |
| ନମୁନା ଆକାର | 68≤68mm, H≤20mm |
| ନମୁନା ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଭ୍ରମଣ | | 25 * 25 ମିମି |
| ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆଇପିସ୍ | | 10X |
| ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ | | 5X / 10X / 20X / 50X ଯୋଜନା ଆପୋକ୍ରୋମାଟିକ୍ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ | |
| ଆଲୋକୀକରଣ ପଦ୍ଧତି | | LE Kohler ଆଲୋକ ବ୍ୟବସ୍ଥା | |
| ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫୋକସ୍ | | କଠିନ ମାନୁଆଲ୍ ଧ୍ୟାନ | |
| କ୍ୟାମେରା | | 5MP CMOS ସେନ୍ସର | |
| ପ୍ରଦର୍ଶନ | ଗ୍ରାଫ୍ ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ମାପ କାର୍ଯ୍ୟ ସହିତ 10.1 ଇଞ୍ଚ ଫ୍ଲାଟ ପ୍ୟାନେଲ ପ୍ରଦର୍ଶନ | |
| ଉତ୍ତାପ ଉପକରଣ | ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରିସର: କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା ~ 250 ℃ (ବ al କଳ୍ପିକ) |
| ଗରମ ଏବଂ ଥଣ୍ଡା ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ | | ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରିସର: -20 ℃ ~ 220 ℃ (ବ al କଳ୍ପିକ) |
| ଗତି ସ୍କାନ୍ କରନ୍ତୁ | | 0.6Hz-30Hz |
| କୋଣ ସ୍କାନ୍ କରନ୍ତୁ | | 0-360 ° |
| ଅପରେଟିଂ ପରିବେଶ | | ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ XP / 7/8/10 ଅପରେଟିଂ ସିଷ୍ଟମ୍ | |
| ଯୋଗାଯୋଗ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ | | USB2.0 / 3.0 |
